肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备中主要部件的使用、原理简介、存在问题、及解决方法:
真空计:真空计是真空镀膜机器上的重要组成部分,它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为**真空计和相对真空计,珠海市镀膜机,**真空计可以直接测量压强的高低,相对真空计只能间接测量真空度。 本论文重点介绍镀膜机器上面常用到的以下几个真空计: 电阻真空计(又叫皮喇尼真空计): 它主要由电热丝、外壳和支架构成,主要是根据在低压下,气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的。上面开口处与被测真空系统相连接,热丝采用电阻温度系数大的金属丝做成,两支支架引线与测量线路连接。当压强降低的时候,由于气体热传导散失的热量减小,因此当热丝加热电流稳定时候,则热丝温度就上升,热丝的电阻就增大,立转镀膜机,用测量热丝电阻值的大小来间接测量压强,真空镀膜机,有以下关系: 略 这就是电阻真空计的工作原理,此真空计的测量范围是:100-10-1帕之间,目前采用的型号是WP-02 磁控放电真空计:
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真空镀膜设备使用、原理简介、存在问题、及解决方法:
旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12,金银镀膜机,当高压真空表“5”内指针逆时针左移**过1时,再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
? 当高压真空表“5”内指针逆时针移动**过6.7Pa时,开工件旋转钮开关,钟罩内被镀件PVDF膜转动。
? 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔,可插入任意一孔)。
? 右手旋转右侧调压器手轮,慢慢旋转升压