肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备使用、存在问题、及解决方法:
关机顺序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
3. 到50以下时,再关维持泵。
关机顺序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,华源于欢真空镀膜机,这期间约需40分钟。
3. 到50以下时,于欢真空,再关维持泵。
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真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法:
机械泵是从大气开始工作的,它的主要参数有极限真空,抽气速率,高益智于欢真空机,此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空,双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕,甚至更高。 抽气速率,是指旋片泵按额定转数运转时,单位时间内所能排出气体的体积,可以用下公式计算: Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积,L表示空腔长度,系数表示转子每旋转一周有两次排气过程,Vs表示当转子处于水平位置的时候,吸气结束,此时空腔内的体积大,转速为n