肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备使用、存在问题、及解决方法:
电控柜操作
1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源,三门连续高真空镀膜机,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,镀膜机厂家,再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,萝次二门真空镀膜机,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,金华市镀膜机,关予抽,开前机和
高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
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真空镀膜设备使用、原理简介、存在问题、及解决方法:
如果再想蒸镀一次(为了增加电极金属层厚度):把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复?操作动作。
22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。
23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间,当没有气.声时,升钟罩。
24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 (原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在转动圆盘上。